테스, PECVD ACL장비 양산평가 인증획득 25-05-23 10:04
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2008년 6월 25일 ''삼성전자'', ''하이닉스'', ''동부하이텍''으로부터
PE CVD ACL장비(모델명: CHALLENGER300)의 양산검증 인증을 획득하였습니다.
이 인증서 획득은 지난 2007년 2월 지식경제부(舊 산업자원부)가 주관하고 삼성전자, 하이닉스, 동부하이텍등 국내 반도체업체 3사가 시행사로 참여한 상생프로젝트(장비 원천기술 상용화 사업)의 PE CVD ACL장비부문의 개발자로 선정된 후 개발성공에 이어 최종적으로 양산라인에서 성공적으로 평가가 완료 되었다는 의미를 담고 있습니다.
상생프로젝트를 통해 개발된 장비는 수요 대기업의 양산라인에 투입되어 개발장비의 신뢰성 확보가 가능해져 국산장비의 수요 확대에 큰 기여를 했습니다.
현재 당사의 PE CVD ACL장비는 대기업의 300mm 반도체 양산라인에 적용되고 있으며
앞으로 수요가 확대될 것으로 기대됩니다.
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